Después de las primeras pruebas se dio cuenta de que la compañía alemana Zeiss era capaz de desarrollar los espejos extraordinariamente sofisticados que serían necesarios para transportar la luz ultravioleta. Y no se equivocó. Aquel fue el auténtico punto de partida de la tecnología que ha hecho posible que los teléfonos móviles, los ordenadores y los servidores de los centros de datos para inteligencia artificial (IA) tengan circuitos integrados tan avanzados.
La materia prima utilizada por estas máquinas para transportar el patrón geométrico que describe la estructura de cada chip desde la máscara hasta la oblea es la luz. Pero no cualquier luz. Luz ultravioleta con una longitud de onda tan minúscula que sería posible utilizarla para escribir 'El Señor de los Anillos' al completo en el filo de una hoja de papel. Parece algo imposible, pero no lo es: si quisieran, los ingenieros de ASML podrían hacerlo usando su tecnología.
La elección de la longitud de onda de la luz UVE que emplean estas máquinas fue una decisión muy delicada. Inicialmente los ingenieros involucrados en su puesta a punto tenían cuatro posibles opciones: 13,5 nm, 11,4 nm, 6,6 nm y 4,8 nm. Estas dos últimas longitudes de onda finalmente se descartaron debido a las limitaciones que imponían los materiales fotorresistentes orgánicos. La luz de 11,4 nm también fue descartada porque obligaba a utilizar berilio en los espejos, y es un elemento químico tóxico.
